非制冷紅外探測(cè)器杜瓦組件由金屬蓋帽、金屬底座(由管殼底、針腳、玻璃珠燒結(jié)而成)、光學(xué)窗口組成,該結(jié)構(gòu)可封裝多種陣列的紅外芯片。
光學(xué)窗口(鍺)采取鍍?cè)鐾改ぜ斑吘壗饘倩姆绞郊庸ざ桑?a href="http://bjbeisheng.cn/" target="_self" style="text-decoration-line: none; color: rgb(101, 101, 101); outline: 0px; cursor: pointer;">海寧精密過(guò)濾器滿足光學(xué)、機(jī)械多方面匹配需要,以獲得在8μm―14μm波段透過(guò)率≥96%,響應(yīng)更靈敏的窗口。鍺片的焊接是真空封裝中的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),焊接后的窗口部件需要經(jīng)過(guò)溫度沖擊和漏率測(cè)試,從而保證高真空密封的要求。
探測(cè)器安裝固定采用膠粘工藝,膠粘劑的選擇和膠粘過(guò)程工藝對(duì)于探測(cè)器的可靠性和使用壽命非常重要。一般選用導(dǎo)熱性能好,具有很高強(qiáng)度的膠粘劑,按照規(guī)定的工藝文件進(jìn)行粘接。為了保證粘接的可靠性,粘接固化后,進(jìn)行50多次高低溫沖擊試驗(yàn),檢測(cè)溫差和溫度均勻性,驗(yàn)證了該工藝的正確性。
探測(cè)器的電連接采用金絲引線,引線的連接采用金絲球鍵合工藝,實(shí)現(xiàn)探測(cè)器與外部電信號(hào)的傳遞。根據(jù)芯片的BondingPad尺寸,選擇直徑為25μ金絲,通過(guò)鍵合工藝參數(shù)試驗(yàn),以及拉力測(cè)試,選擇了最佳的鍵合工藝參數(shù)作為該產(chǎn)品的鍵合工藝規(guī)范。